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產(chǎn)品中心光度色度膜厚測試產(chǎn)品半導(dǎo)體膜厚測試儀
產(chǎn)品型號：
更新時間：2025-11-08
廠商性質(zhì)：代理商
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半導(dǎo)體膜厚測試儀-OPTM
R&D ！ QC ！ 植入設(shè)備！ 都可簡單實(shí)現(xiàn)高精度測量！
測量目標(biāo)膜的絕對反射率，實(shí)現(xiàn)高精度膜厚和光學(xué)常數(shù)測試！ （分光干渉法）
半導(dǎo)體膜厚測試儀特 長 Features
·膜厚測量中必要的功能集中于頭部
·通過顯微分光高精度測量絕對反射率（多層膜厚、光學(xué)常數(shù)）
·1點(diǎn)只需不到1秒的高速tact
·實(shí)現(xiàn)了顯微下廣測量波長范圍的光學(xué)系（紫外～近紅外）
·通過區(qū)域傳感器控制的安全構(gòu)造
·搭載可私人定制測量順序的強(qiáng)大功能
·即便是沒有經(jīng)驗(yàn)的人也可輕松解析光學(xué)常數(shù)
·各種私人定制對應(yīng)（固定平臺，有嵌入式測試頭式樣）
測量項(xiàng)目 Measurement item
·絕對反射率測量
·膜厚解析
·光學(xué)常數(shù)解析（n：折射率、ｋ：消光系數(shù)）
構(gòu)成圖
式 樣Specifications
※ 上述式樣是帶有自動XY平臺。
※ release 時期 是OP-A1在2016年6月末、OP-A2、OP-A3預(yù)定2016年9月。
＊ 膜厚范圍是SiO2換算。
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