193nm激光器準分子加工系統(tǒng)

產(chǎn)品簡介：

193nm激光器準分子加工系統(tǒng)產(chǎn)品特點：
全部實現(xiàn)風冷，無需水冷；
結構緊湊，脈沖頻率高，Z高重復頻率到1kHz；
全新技術金屬-陶瓷腔體；
光束均勻性好
集成的真空泵和鹵素濾光片
激光頭體積<3L
提供能量穩(wěn)定模式，保證能量穩(wěn)定輸出；

產(chǎn)品型號：

更新時間：2025-11-07

廠商性質：代理商

訪問量：5864

服務熱線

立即咨詢

產(chǎn)品分類

PRODUCT CLASSIFICATION

激光與量測

激光光斑分析儀 CODIXX高消光比偏振片動態(tài)干涉儀傳遞函數(shù)(MTF)測試系統(tǒng) 高精度焦點分析儀量子級聯(lián)激光器鏡頭及光學元件測試設備激光波長計氦氖激光器波前分析儀超快激光器氣體激光器連續(xù)激光器 YAG激光器固體激光器激光能量計探頭激光M2因子分析儀可調諧激光器激光光譜儀

查看全部產(chǎn)品

拉曼光譜儀在高分子材料中的應用

棱鏡耦合測試儀使用時的具體操作步驟

PR730制冷型光譜光度計產(chǎn)品介紹

THz成像技術介紹

產(chǎn)品介紹

193nm激光器準分子加工系統(tǒng)

193nm激光器準分子加工系統(tǒng)產(chǎn)品外觀圖

典型的均勻光斑形貌

微加工系統(tǒng)

產(chǎn)品特點：

全部實現(xiàn)風冷，無需水冷；

結構緊湊，脈沖頻率高，zui高重復頻率到1kHz；

全新技術金屬-陶瓷腔體；

光束均勻性好

集成的真空泵和鹵素濾光片

激光頭體積<3L

提供能量穩(wěn)定模式，保證能量穩(wěn)定輸出；

應用：

微加工

激光融蝕

醫(yī)學（眼睛手術）

光譜

計量

光纖布拉格光柵刻寫

參數(shù)

ATLEX-300-I 參數(shù)

ATLEX-300-I 參數(shù)
氣體介質	F2	ArF	KrF	XeCl	XeF	單位
波長	157	193	248	308	351	nm
高壓開關技術	固態(tài)開關
zui大脈沖能量¹	1	10	15	8	7	mJ
zui大平均功率	0.2	2.4	4.0	2.0	1.7	W
zui大重復頻率	300					Hz
脈寬²	5-8					ns
光斑尺寸（V*H）	4*6					mm
光束發(fā)散角（V*H）	1*2					mrad
能量穩(wěn)定性	<3					%
尺寸（LWH）	540470370					mm
重量	60					kg
制冷	風冷
供電要求	230 VAC/6.3A/1 phase/50-60Hz

在低重復頻率下測量，應用能量穩(wěn)定模式降會有10%的輸出能量損失
典型值，半高全寬（FWHM）

ATLEX-500-I 參數(shù)

ATLEX-500-I 參數(shù)
氣體介質	F2	ArF	KrF	XeCl	XeF	單位
波長	157	193	248	308	351	nm
高壓開關技術	固態(tài)開關
zui大脈沖能量¹	1	10	15	8	7	mJ
zui大平均功率	0.5	4.0	6.5	3.0	2.5	W
zui大重復頻率	500					Hz
脈寬²	5-8					ns
光斑尺寸（V*H）	4*6					mm
光束發(fā)散角（V*H）	1*2					mrad
能量穩(wěn)定性	<3					%
尺寸（LWH）	540470370					mm
重量	60					kg
制冷	風冷
供電要求	230 VAC/6.3A/1 phase/50-60Hz

在低重復頻率下測量，應用能量穩(wěn)定模式降會有10%的輸出能量損失
典型值，半高全寬（FWHM）

ATLEX-1000-I 參數(shù)

ATLEX-1000-I 參數(shù)
氣體介質	ArF	KrF	單位
波長	193	248	nm
高壓開關技術	固態(tài)開關
zui大脈沖能量¹	10	15	mJ
zui大平均功率	4.0	6.5	W
zui大重復頻率	1000		Hz
脈寬²	5-8		ns
光斑尺寸（V*H）	4*6		mm
光束發(fā)散角（V*H）	1*2		mrad
能量穩(wěn)定性	<3		%
尺寸（LWH）	540470370		mm
重量	60		kg
制冷	風冷
供電要求	230 VAC/10A/1 phase/50-60Hz

在低重復頻率下測量，應用能量穩(wěn)定模式降會有10%的輸出能量損失
典型值，半高全寬（FWHM）

ATLEX-300-FBG 參數(shù)

ATLEX-300-FBG 參數(shù)
氣體介質	ArF	KrF	單位
波長	193	248	nm
高壓開關技術	固態(tài)開關
zui大脈沖能量¹	10	15	mJ
zui大平均功率	2.4	4.0	W
空間相關性(垂直方向)	>300	>300	um
zui大重復頻率	300		Hz
脈寬²	5-8		ns
光斑尺寸（V*H）	4*6		mm
光束發(fā)散角（V*H）	1*2		mrad
能量穩(wěn)定性	<3		%
尺寸（LWH）	540470370		mm
重量	60		kg
制冷	風冷
供電要求	230 VAC/6.3A/1 phase/50-60Hz

在低重復頻率下測量，應用能量穩(wěn)定模式降會有10%的輸出能量損失
典型值，半高全寬（FWHM）

ATLEX-500-FBG 參數(shù)

ATLEX-500-FBG 參數(shù)
氣體介質	ArF	KrF	單位
波長	193	248	nm
高壓開關技術	固態(tài)開關
zui大脈沖能量¹	10	15	mJ
zui大平均功率	4.0	6.5	W
空間相關性(垂直方向)	>300	>300	um
zui大重復頻率	500		Hz
脈寬²	5-8		ns
光斑尺寸（V*H）	4*6		mm
光束發(fā)散角（V*H）	1*2		mrad
能量穩(wěn)定性	<3		%
尺寸（LWH）	540470370		mm
重量	60		kg
制冷	風冷
供電要求	230 VAC/6.3A/1 phase/50-60Hz

在低重復頻率下測量，應用能量穩(wěn)定模式降會有10%的輸出能量損失
典型值，半高全寬（FWHM）

ATLEX-LR 參數(shù)

ATLEX-LR 參數(shù)
氣體介質	ArF	單位
波長	193	nm
zui大脈沖能量¹	12	mJ
zui大穩(wěn)定輸出能量	10	mJ
脈寬²	5	Ns
光斑尺寸（V*H）	4*6	mm
光束發(fā)散角（V*H）	1*2	mrad
能量穩(wěn)定性	<2	%
尺寸（LWH）	540470370	mm
重量	60	kg
制冷	風冷
供電要求	230 VAC/6.3A/1 phase/50-60Hz