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技術文章
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2018-413
在半導體制造過程中，前期的全自動晶圓缺陷檢測技術非常重要。因為在后端的生產(chǎn)流程中，通常會有多片晶圓粘合到一起，或者把晶圓粘合到不透明的材料上。因為半導體材料對可見光都是不透明的，所以很難用可見圖像技術對粘合效果做表征或者檢測粘合表面的污染。比如MEMS的分選就是典型的應用。MEMS是把微型機械部件、微型傳感器、微電路集成到一個芯片上；為確保MEMS的運作，對其進行缺陷檢測是至關重要的，但很多機械性能無法通過電氣或功能測試來確定。因為這些缺陷往往位于基板上或器件與封蓋晶圓之間連...
查看更多2018-413
半導體器件和電路制造技術飛速發(fā)展，器件特征尺寸不斷下降，而集成度不斷上升。這兩方面的變化都給失效缺陷定位和失效機理的分析帶來巨大的挑戰(zhàn)。對于半導體失效分析（FA）而言，微光顯微鏡（EmissionMicroscope,EMMI）是一種相當有用且效率高的分析工具。微光顯微鏡其高靈敏度的偵測能力，可偵測到半導體組件中電子－電洞對再結(jié)合時所發(fā)射出來的光線，能偵測到的波長約在350nm~1100nm左右。它可以廣泛的應用于偵測IC中各種組件缺陷所產(chǎn)生的漏電流，如：Gateoxided...
查看更多2018-413
以飛秒激光技術為核心的超快光學及強場物理科學，在近20年來發(fā)展迅速。飛秒激光本身，隨著鈦寶石自鎖模振蕩器、CPA技術、光纖飛秒等重大技術的創(chuàng)新和發(fā)展，在超快（周期量級飛秒脈沖）、*（峰值功率拍瓦）、穩(wěn)定性和實用性等方向上取得了長足的發(fā)展。其應用已經(jīng)深入到物理、化學、材料、生物醫(yī)學、工業(yè)加工的廣闊領域，主要應用如：1）端超快物理研究：阿秒脈沖產(chǎn)生與阿秒動力學；2）端*物理研究：強相對論電子，量子電動力學，實驗室天體物理；3）強場物質(zhì)相互作用研究：高次諧波，粒子加速，激光驅(qū)動核聚...
查看更多2018-330
選擇豐富的時頻系列儀器，先鋒科技為您的“時間”提供zui穩(wěn)定的保障人們平時所用的鐘表，精度高的大約每年會有1分鐘的誤差，這對日常生活是沒有影響的，但在要求很高的生產(chǎn)、科研中就需要更準確的計時工具。目前世界上zui準確的計時工具就是原子鐘，它是20世紀50年代出現(xiàn)的。原子鐘是利用原子吸收或釋放能量時發(fā)出的電磁波來計時的，原子鐘的精度可以達到每100萬年才誤差1秒。這為天文、航海、宇宙航行提供了強有力的保障。美國斯坦福研究系統(tǒng)公司（以下簡稱“SRS”）提供各類的時頻系列儀器，應用...
查看更多2018-328
氣體激光技術自61年問世以來,發(fā)展為迅速,受到許多國家的大重視。特別是近兩年,以二氧化碳為主體工作物質(zhì)的分子氣體激光器的進展更為神速,已成為準分子激光器中zui有發(fā)展前途的器件。準分子激光器不僅工作波長(10.6微米)在大氣“窗口”,而且它正向連續(xù)波大功率和率器件邁進。不到兩年,現(xiàn)在該類器件的連續(xù)波輸出功率高達1200瓦,其效率為17%,電源激勵脈沖輸出功率為825瓦,采用Q開關技術已獲得50千瓦的脈沖功率輸出。zui近,有人認為,進一步提高現(xiàn)有的工藝水平,近期可以達到幾千瓦...
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